米国Tousims Autosamdri-931クリーンルーム版タッチスクリーン全自動臨界点乾燥機

米国Tousims Autosamdri-931 Cleanroomシリーズ

タッチパネル全自動臨界点乾燥機

このシリーズは卓上臨界点乾燥機で、超清浄間で動作し、3つのモデルが選択可能です。

1）1”のウエハ臨界点乾燥用Autosamdri-931 _ 1.25”

2）2”を超えないウエハ臨界点乾燥用Autosamdri-931 _ 2.50”

3）3”を超えないウエハ臨界点乾燥用Autosamdri-931 _ 3.40”

臨界点乾燥の原理
臨界点乾燥（超臨界乾燥とも呼ばれる）と呼ばれるのは、媒体が液体と気体の間に明らかな区別がなく、境界面の表面応力がゼロに低下する状態の連続性があるためである。この現象は特定の温度と圧力を持ち、臨界点と呼ばれる。表面応力ゼロという条件は、生体試料または水性材料試料の乾燥に使用でき、表面応力による試料の損傷を回避することができる。
私たちは電子顕微鏡（走査型電子顕微鏡透過型電子顕微鏡）の生物試料または含水材料試料の製造時にしばしば脱水処理（勾配脱水）を行う必要があるが、水の臨界点は+374℃および3212 psiであり、不便で試料を損傷しやすい。一般的にも非常に便利な臨界点乾燥媒体はCO 2であり、その臨界点は+31℃および1072 psiである。しかし、水との混合は容易ではないので、中間液体として通常エタノールまたはアセトンを使用する第3の媒体を使用しなければならない。このように遷移液体、すなわちCO 2を液体から気体に変換する際に、臨界点で試料に対する表面応力の破壊がない。

特徴と利点

❖静電気防止装置計、クリーンルーム材料の製造応用に適している

❖明るいタッチスクリーン制御

❖ほとんどのウェハおよびダイMEMS用途に適したデフォルトの自動モード設定

❖1回につき最大5枚の基板（ウェハまたはベアチップ）を処理可能

❖異なるサンプル用のユーザー定義プログラムの作成と保存

❖「スローチャージ」機能により、脆弱なサンプルの大部分を保護

❖急速冷却チャンバ（1〜3分以内に25°Cから3°Cまで冷却）

❖交換攪拌はメンテナンスフリー渦旋回法を用いて行い、攪拌棒を必要としない

❖外部交換可能な0.5µm置換後フィルタ、メンテナンスに便利

❖耐フッ素サンプルラックを備え、異なるチャンバを用いてそれぞれ直径3"、2"のウエハまたは辺長10 mmの正方形裸片を乾燥する

❖外部バイアルに供給される液状CO₂粒子濾過を行い、滞留率は99.5%以上である

❖内部濾過は濾過後の液体COを₂作業室に直接搬送し、粒子ろ過は0.08µmと低く、遮断率は99.999%以上である

❖凝縮器を内蔵し、廃棄エタノールと二酸化炭素を分離し、いかなる管路凍結或いは機体静電気を除去し、全過程に騒音がない

❖「Stasisソフトウェア」、乾燥ゲル及び他の複雑なサンプル

主な技術仕様

➢作業室寸法：1.25″、2.50″、3.40″を選択できる3種類のチャンバ直径がある

➢圧力測定範囲：0-2000 psi.

➢温度測定範囲：-30°C to 60°C

➢制御方式：タッチスクリーン全自動プログラム制御

一般的な構成

ϫフレキシブル高圧液状CO 2供給ホース、現場での設置を容易にする

ϫ液体CO 2システム輸送ろ過

＄耐フッ素サンプルラック：異なるサイズのチャンバに基づいてそれぞれ3″、2″のウェハまたは辺長10 mmの正方形裸片を乾燥するために使用する

⑪フレキシブル排気管の取り付けが容易

⑪予備チャンバOリング、チャンバランプ、ヒューズ

注：米国Tousims製品は50年近くの歴史があり、中国の顧客からの評判は非常に良い。ボース科学技術はCPD超臨界乾燥器の中国区代理である。Tousimisりんかいてんかんそうき製品は次のとおりです。非クリーンルームバージョンとクリーンルームバージョン2つの大きなクラス、前者は電子顕微鏡によるサンプリングによく用いられ、後者は超浄間内の材料研究用途に多く用いられる、

非クリーンルームバージョン全部で7種類のCPDがあります：

1）Samdri®-PVT-3 D通常臨界点乾燥器

2）Samdri®-795半自動りんかいてんかんそうき

3）Autosamdri®-815 Series A全自動臨界点乾燥器

4）Autosamdri®-815B Series A全自動臨界点乾燥機

5）Autosamdri®-931_1.25"タッチスクリーン全自動りんかいてんかんそうき

6）Autosamdri®-931_2.50"タッチスクリーン全自動りんかいてんかんそうき

7）Autosamdri®-931_3.40"タッチスクリーン全自動りんかいてんかんそうき

クリーンルームバージョン9種類のCPDがあります。

1）Autosamdri®-815 Series B全自動臨界点乾燥機For Die & 1”Wafers

2）Autosamdri®-815B Series B全自動臨界点乾燥機For 4”Wafers

3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動臨界点乾燥機For 6”Wafers

4）Autosamdri®-931_1.25"タッチスクリーン全自動多目的りんかいてんかんそうき

5）Autosamdri®-931_2.50"タッチスクリーン全自動多目的りんかいてんかんそうき

6）Autosamdri®-931_3.40"タッチスクリーンの多用途全自動りんかいてんかんそうき

7）Autosamdri®-934タッチパネルCシリーズ全自動りんかいてんかんそうき

8）Automegasamdri®-936タッチパネルCシリーズ全自動臨界点`乾燥計

9）Automegasamdri®-938タッチパネルCシリーズ全自動りんかいてんかんそうき

米国Tousims超臨界乾燥機は広範である生物試料、ゲルなどのマイクロナノ3 D構造を有する脆弱で複雑な試料、およびMEMS、MOF、カーボンナノチューブ、グラフェン、半導体ウエハ（最大試料サイズ8インチ、一度に5枚同時乾燥）などの材料系試料の臨界点乾燥。CO 2臨界点状態における液相表面張力なしによる試料の皺変形の原理を利用して真の形態を有する乾燥試料を取得することは、水または他の液体を含む細胞組織などの生物試料、半導体などの材料試料の乾燥による試料製造の有効な方法である、操作が簡便で、制御が正確で、結果が重複できるなどの特徴がある。お客様は、異なるアプリケーションに基づいて異なるモデルを選択できます。