三軸竜門二駆大理石エアフロープラットフォーム

技術指標	データ＃データ＃
負荷（Kg）	X軸：100 Y軸（デュアルドライブ）：350 Z軸：35
最大速度（mm/s）	X軸：1000 Y軸（デュアルドライブ）：1000 Z軸：250
最大加速度（G）	X軸：1 Y軸（デュアルドライブ）：1 Z軸：0.05
有効ストローク（mm）	X軸：980 Y軸（デュアルドライブ）：1500 Z軸：50
繰り返し精度（μm）	X軸：±2 Y軸（ダブルドライブ）：±2 Z軸：±3
位置決め精度（μm）	X軸：±5 Y軸（ダブルドライブ）：±5 Z軸：±5
平面度（μm）	X軸：±15 Y軸（ダブルドライブ）：±15 Z軸：±3
直線度（μm）	X軸：±4 Y軸（ダブルドライブ）：±4 Z軸：±3
くどうモード	X軸：リニアモータY軸（2駆）：リニアモータZ軸：ボールねじ＋サーボモータ
フィードバック方式	X軸：格子定規Y軸（デュアルドライブ）：格子定規Z軸：格子定規レニサウ解像度0.1μm
防塵方式	X軸：クリーン鋼帯Y軸（2駆）：クリーン鋼帯Z軸：クリーン鋼帯CLASS 10