スイスSafematic CCU-010 LV _ CT-010熱蒸発炭素めっき装置

スイスSafematic電子顕微鏡サンプリング装置：CCU-010 LV _ CT-010熱蒸発炭素めっき装置

コンパクト、モジュール化、インテリジェント化
CCU-010 LV _ CT-010は構造がコンパクトで全自動型の熱蒸発炭素めっき設備であり、使用は非常に簡便である。プラズマ処理は、被膜の前及び／又は後に行うことができる。モジュール化された設計により、交差汚染を簡単に回避できます。

特徴と利点
✬高性能熱蒸発炭素めっき及びプラズマ処理
✬独自のカーボンコイル設計–1回の真空下で数十回までの炭素めっき膜で、ユーザーの介入を必要としない
✬独自のプラグアンドプレイ用炭素蒸着モジュール
✬一流の真空性能と高速真空引き
✬コンパクトで信頼性が高く、メンテナンスが容易
✬二位置膜厚監視装置、異なる寸法のサンプルと互換性がある

巧みな真空設計
モジュール化された設計により、低真空ユニットを高真空ユニットに簡単にアップグレードすることができます。特に選択され設計された材料、表面、形状は、真空引き時間を大幅に短縮することができます。

CT-010炭素蒸発モジュール
コンパクトな挿入式炭素蒸発モジュールは炭素めっきのための新しいベンチマークを確立した。このヘッドをCCU-010 LVめっき本体に挿入した後、すぐに使用することができ、SEM/EDSなど高品質炭素膜の応用が必要な場合に適している。CT−010は、炭素源を交換することなく、1回の真空下で数十回までコーティングされたコーティングを行うことができる。温度に敏感なサンプルに対して温和な蒸着薄炭素膜を行うことができ、中厚炭素膜層の応用時に高出力フラッシュ蒸着炭素を行うこともできる。

GD-010グロー放電モジュール
代替的なGD−010グロー放電システムは、例えば炭素膜を親水性にする表面処理を行うことができる。

ET-010プラズマエッチングユニット
サンプルをコーティングする前またはコーティングした後に、サンプルをプラズマエッチング処理することができる。

RC-010グローブボックス応用の遠隔制御ソフトウェア
◎ウィンドウベースの遠隔制御ソフトウェア
◎フォーミュラの作成と呼び出し

複数種類のサンプルテーブルを選択可能
CCU−010は、高さ調整可能で傾斜可能なサンプルスタンドに挿入された直径60 mm以上のサンプルスタンドを提供する。他のサンプルテーブルを選択できます。

CCU-010 LVシリーズコーティング装置バージョン
を除いてCCU-010 LV熱蒸発炭素めっき装置さらに、次のオプションを選択できます。

CCU-010 LVマグネトロンイオンスパッタリングめっき装置；

CCU-010 LVイオンスパッタリングと炭素めっき一体化めっき装置；

CCU-010 LVグローブボックス専用コーティング装置。

すべてのCCU-010 LVシリーズのコーティング装置はTFTタッチスクリーンを用いて操作され、レシピはプログラム可能で、結果が繰り返し可能であることを保証する。