スイスSafematic CCU-010 HV _ CT-010高真空熱蒸着炭素めっき装置

スイスSafematic電子顕微鏡サンプリング装置：CCU-010 HV _ CT-010高真空熱蒸発炭素めっき装置

コンパクト、モジュール化、インテリジェント化
CCU-010 HV _ CT-010は構造がコンパクトで全自動型の熱蒸発炭素めっき設備であり、使用は非常に簡便である。独自の挿入式設計を採用しており、変換めっきヘッドは非常に簡単です。プラズマ処理は、コーティングの前および／または後に行うことができる（オプション）。モジュール化された設計により、交差汚染を簡単に回避できます。CCU-010標準配置膜厚監視装置。

特徴と利点
✬高性能蒸発炭素めっき及びオプションプラズマ処理
✬独自の自動巻送炭素源設計–ユーザーの介入なしに数十回まで炭素めっきを行う
✬独自のプラグアンドプレイ用炭素蒸着モジュール
✬一流の真空性能と高速真空引き
✬コンパクトで信頼性が高く、メンテナンスが容易
✬二位置膜厚監視装置、異なる寸法のサンプルと互換性がある

巧みな真空設計
CCU-010 HVシリーズの高真空コーティング装置は、最高級のSEM、TEM、薄膜用途をカバーしている。特に選択され設計された材料、表面、形状は、真空引き時間を大幅に短縮することができます。2つの追加の標準真空フランジにより、サードパーティ製デバイスを接続できます。

CT-010炭素蒸発モジュール
コンパクトな挿入式炭素蒸発モジュールは炭素めっきのための新しいベンチマークを確立した。このヘッドをCCU-010 HVめっき本体に挿入した後、直ちに使用することができ、EDS炭素噴霧応用に適しているだけでなく、SEM、TEM及び高品質炭素膜応用が必要な場合にも適している。CT−010は、炭素源を交換することなく、独自で技術的にも先進的な炭素ロープリールシステムを用いて、数十回までコーティングされたコーティングを行うことができる。1段の炭素ロープが蒸発すると、新しい段が自動的に進み、使用した炭素ロープが便利な収集皿に落ちます。使いやすいことに加えて、自動リールシステムは、めっきサイクル内にほぼ任意の厚さの炭素膜を制御可能に堆積することを可能にする。選択しやすいめっきモードはめっき膜の安全を保障し、温度に敏感なサンプルに対して温和な蒸着膜からFIB応用における厚膜層の高出力フラッシュ蒸着炭素まで。パルス蒸発を統合し、バッフルを自動的に起動した後のガス除去と膜厚監視を行うインテリジェント電源制御は、正確な膜厚を提供し、火花による表面ムラを回避することができる。

GD-010グロー放電モジュール
オプションのGD-010グロー放電システムは、空気、アルゴンガス、または他の専用ガスによる表面処理、例えば炭素膜を親水化するために迅速に設置することができます。本機は順番に炭素めっき膜とグロー放電処理を行うことができ、真空を「破壊」したり処理ヘッドを交換したりする必要がなく、操作過程を大幅に簡略化した。本ユニットはCT-010に設置され、すべてのサンプル台と互換性がある。

ET-010プラズマエッチングユニット
サンプルをコーティングする前またはコーティングした後、オプションでサンプルをプラズマエッチング処理する。このアタッチメントを用いて、処理ガスとしてアルゴンガス、他のエッチングガス、または大気を選択することができる。これにより、コーティング前にサンプルを洗浄し、フィルムの付着力を高めることができる。試料の炭素めっき後にプラズマ処理を行い、炭素膜表面を改質することもできる。

Coating-LABソフトウェア（オプション）
PCベースのCoating-LABソフトウェアを使用すると、グラフ情報を含む処理データを表示できます。データには圧力、電流、電圧、めっき速度、膜厚が含まれ、めっき速度はリアルタイム曲線である。便利なソフトウェアアップグレードとパラメータ設定により、このスマートツールはより完全になります。

RC-010グローブボックス応用の遠隔制御ソフトウェア（オプション）
◎ウィンドウベースの遠隔制御ソフトウェア
◎フォーミュラの作成と呼び出し
◎エクスポート機能（Excel、pngなど）を含むリアルタイムグラフ
◎機器への自動接続

複数種類のサンプルテーブルを選択可能
CCU-010シリーズの金噴霧炭素計は、高さ調整可能で傾斜可能な試料台ホルダに挿入された直径60 mm以上の試料台を提供する。他の専用の回転試料台、遊星台、スライド試料台などを選択できます。

CCU-010 HVシリーズ高真空コーティング装置及びそのバージョン
CCU-010 HVシリーズ高真空めっきシステムは、電子顕微鏡サンプルの製造分野及び材料科学薄膜応用の最高要求を満たすために設計されている。CCU-010 HV高真空炭素めっき装置は良質なコンポーネントとインテリジェントな設計を採用し、超高解像度応用において優れた結果を提供することができる。この設備は全自動真空引きと全自動操作であり、TFTタッチスクリーンを採用し、レシピがプログラム可能で、結果が繰り返し可能であることを保証する。CCU-010 HV標準配置真空引きシステムは完全に油がなく、高性能タービンポンプと前段ダイヤフラムポンプを含み、いずれも内部に位置し、外部には重い回転ポンプと真空管路がない。これは合理的なサイズの卓上型高真空コーティング装置です。油抜き真空引きシステムを使用すると、めっき層中の汚染や欠陥を最小限に抑えることができる。閉鎖時、この装置は真空下に保持することができ、これはシステムを塵と湿気の影響から効果的に保護し、高品質のめっき層のために迅速な真空引きと有利な真空条件を創造した。

CCU-010 HVシリーズ高真空コーティング装置バージョン：CCU-010 HV高真空マグネトロンイオンスパッタリングコーティング装置；CCU-010 HV高真空熱蒸発炭素めっき装置；CCU-010 HV高真空イオンスパッタリングと炭素めっき一体化めっき装置；CCU-010 HV高真空グローブボックス専用コーティング装置

CCU-010 HVシリーズ高真空コーティング装置の主な特長1つは自動炭素繊維巻き取りシステムを独占的に採用し、蒸発するたびに自動的に炭素繊維を推進し、真空を破らずに炭素源を交換する場合に数十回の炭素めっき運転を行うことができ、市場でよく見られる単回、二回または四回の炭素繊維めっき方式より大量の人工操作を節約し、大多数の通常の炭素めっき応用にも適し、超薄または超厚炭素膜および温度敏感サンプルの応用にも適する。第二に、「めっき前にサンプル表面をプラズマ洗浄（付着力を増加）＋めっき＋めっき後に膜層表面を改質（例えば：親水化）またはエッチング」の全プロセスを同じ器具の同じ真空下に集めて完成し、めっき品質を大幅に向上させ、応用範囲を広げた。また、スイス製は、「精密」と「高品質」の代名詞である。スイスの元工場の商品源、地元のサービスを考えて、お客様は安心して、安心して使うことができます！