Q 300 T ES Plus大チャンバ高真空イオンスパッタリングと熱蒸発を一体化したコーティング装置

Q300T ES Plus大チャンバ高真空イオンスパッタリングと熱蒸発を一体化したコーティング装置

Q300T ES Plusイオンスパッタリングと熱蒸着の2種類のめっき方式を集積しためっきシステムである。成功したものとしてQシリーズスパッタリング/カーボンコーティング装置家族の一員、Q300T ES Plus大チャンバタービン分子ポンプによる真空引きのためのめっきシステムであり、大径試料または複数の小試料に金属蒸発めっきを行うのに最適であり、Q300T ES Plus交換可能なスパッタリングヘッドと炭素蒸発ヘッドも装備されている。

Q300T ES Plus大きな作業チャンバ内にイオンスパッタリング、金属蒸発、炭素蒸着システムを組み合わせた。めっきヘッドは数秒以内に交換でき、インテリジェントロジックシステムはどのめっきヘッドが位置しているかを自動的に識別し、対応する操作設定を表示する。ターボ分子ポンプ真空システム、容量タッチスクリーン制御、高分解能イオンスパッタリングめっき、高真空炭素棒めっき/金属蒸発めっき膜、セットLEDステータスLED。標準的な高速放出イオンスパッタリングコーティングヘッドと直径57mm x 0.1mmのクロムターゲット、急速放出金属蒸発めっきヘッド、めっきヘッドは交換可能である。標準配置直径50ミリのウエハ試料台。高真空測定用のフルレンジ真空ゲージアセンブリを備えている。

三ターゲットめっきを用いた大面積同一材料のフィルム層については、「Q300T T Plus。その他の大チャンバコーティング装置については、「K975X/K975SおよびQ300T D Plus。

機器の特徴：

•静電容量式タッチスクリーン、高感度、よりタッチ操作しやすい

•ユーザーインタフェースソフトウェアが全面的に更新され、現代のスマートフォン技術インタフェースを使用

•包括的なテキストヘルプページ

• USBインタフェースはソフトウェアの更新やフォーミュラファイルのバックアップを容易に行うことができます/コピー先USBリザーバ

• logファイル形式は.csv、日付、時間、および作業パラメータを含む、エクスポート先Excelまたは類似ソフトウェアにおける解析

•マルチユーザによるめっきスキームの入力と保存を可能にし、最近の使用状況に応じて各ユーザのレシピを配列することができる

•デュアルコアARMプロセッサー、迅速な応答の表示を実現することができます、タッチスクリーンボタン付きのフルグラフィックスインタフェース（最近使用したものを含む）1000個のめっき日誌とメンテナンス満期時の注意喚起などの機能

•フルレンジ真空ゲージ

•集積イオンスパッタリング、金属蒸発及び炭素蒸着一体化システム

•オプションの膜厚監視付属品（FTM）、高チャンバを選択可能

•大きくて多色のLED表示灯、可視化状態指示を実現する、プログラムが完了すると音声メッセージが表示される

推奨アプリケーション：

•大径試料又は複数の小試料上に金属蒸着めっきを行う

•高分解能めっき膜、SEM適用＃テキヨウ＃

• EDX, WDS, EBSDカーボンめっき

Q300T ES PlusイギリスですQuorum製品の国際的認可Q一連のめっき装置の一部で、世界数千社の顧客がこのようなめっき装置を使用している。Qシリーズの目的はSEM、TEM薄膜応用により高品質のめっきソリューションを提供し、Qシリーズの機能は多様で、リーズナブルで使いやすい。これらの製品は科学研究の用途に特化している。

Q Plus一連のコーティング装置には小さなチャンバのバージョンもあります。次を参照してください。Q150R Plus、Q150T PlusおよびQ150V Plus；SC7620とQ150GBオプションモデルでもあります。