Q 150 GBグローブボックス専用高真空コーティング装置

Q150GBグローブボックス専用高真空コーティング装置

Q150T Plusグローブボックス内に装着可能なモジュール式めっきシステムであり、真空チャンバモジュール、電源モジュール、タッチパネル操作モジュールなどを含む、真空チャンバモジュールはグローブボックス内に組み立てられ、電源、機械ポンプ、アルゴンガスインターフェースはグローブボックスの後ろの2つのKF40インタフェース接続真空度が5x10^-5mbar。超微細成膜粒子を有する酸化しやすい金属をスパッタすることができ、高分解能イメージングに適している。同様に、低散乱は均一で緻密な非晶質炭素膜を得ることができる。

機器の特徴：

•グローブボックスに取り付けるモジュラー構造

•統合されたグローブボックス圧力監視

•タッチスクリーンコントロールパネルによる遠隔操作

•金属スパッタリングと炭素蒸発を同じシステムに統合

•タービン分子ポンプによる真空引き、各種の酸化しやすい材料と酸化しない貴金属材料のスパッタが可能

•走査型電子顕微鏡及び透過型電子顕微鏡用の高真空炭素棒による炭素めっき用途（オプションの炭素ロープ）

•オプションの金属蒸発ヘッド

•使用しないときに作業室を真空状態にして真空性能を向上させる真空閉鎖機能

•厚膜をめっきする能力、スパッタリング時間を予め設定でき、一次真空条件下で総スパッタリング時間が長い60分

•統合された圧力インターロックスイッチ-相手箱の圧力モニタリングにより相互ロックを実現し、漏れが発生した場合に自動的に真空ポンプを閉じる

推奨アプリケーション：

•走査電子顕微鏡の高分解能増幅応用

• TEM適用＃テキヨウ＃

• FIB中めっき保護性白金層

•腐食、摩擦、摩耗保護層の開発

•医療機器上の保護層

•フィルム研究

• EDX、WDS、EBSD解析

•リチウム電池

Q150GBグローブボックスバージョンのコーティング機としても、イギリスQuorum製品の国際的認可Q一連のめっき装置の一部で、世界数千社の顧客がこのようなめっき装置を使用している。Qシリーズの目的はSEM、TEM薄膜応用により高品質のめっきソリューションを提供し、Qシリーズの機能は多様で、リーズナブルで使いやすい。これらの製品は科学研究の用途に特化している。

非グローブボックスを組み合わせて使用するコーティング装置、例えば：SEM使用するメカニカルポンプによる真空引きを行う金噴霧炭素計については、「SC7620とQ150R Plusを選択して設定できます。FE-SEM必要な超微粒子コーティングを適用するには、高真空コーティング装置を使用することをお勧めします。Q150T PlusまたはQ150V Plus;チャンババージョンのコーティングシステムが必要な場合は、次を参照してください：Q300T T Plus、Q300T D Plus、Q300T ES PlusとK975X/K975S。