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Pfeiffer四段ロッド質量分析計PrismaPlus

交渉可能更新02/15
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
Pfeiffer四段ロッド質量分析計PrismaPlus
製品詳細

残留ガス分析質量分析計PrismaPlus--よんだんロッド質量分析計
上海伯東代理ドイツPfeiffer残留ガス質量分析QMGシリーズ、モジュール化設計、質量数範囲1-100 amu、1-200 amu、1-300 amu。四重極アナライザ、四重極電子デバイス、電源装置、Quaderaソフトウェアを内蔵しています。残留ガス質量分析QMGシリーズイオン源は2組のフィラメントを備え、多種の測定用途に適し、使用寿命が長い。
Pfeiffer四極質量分析計PrismaPlus主なメリット:
1.モジュール化設計は製品の最適な適応性を提供する
2.構造がコンパクトで、性能が抜群
3.多種のメソ、システム統合が簡単
4.乙太網によるネットワーク化が可能
5.試験過程は急速に安定し、解析度が高い
6.アナライザ及び電子の置換可能性
7.デュアルフィラメント設計による最大の信頼性の確保
8.最低の検出可能分圧が1 x 10 E-14 mbarに達する
9.Quaderaの構成®ソフトウェア、直感的な操作
残留ガス分析器PrismaPlus技術パラメータ:

モデル

QMG 220 F1

QMG 220 F2

QMG 220 F3

QMG 220 M1

QMG 220 M2

QMG 220 M3

検出器

ファラデーFaraday(F)

電子増倍器/ファラデーC-SEM/Faraday(M)

質量数amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極ロッド直径/長さ

6/100 mm

最小検出限界F mbar

1X10-12

2X10-12

4X10-12

5X10-12

1X10-11

2X10-11

最小検出限界M mbar

-

-

-

1X10-14

< 2X10-14

< 4X10-14

Arに対する感度F A/mbar

1X10-3

6X10-4

3X10-4

5X10-4

3X10-4

1.5X10-4

Arに対する感度M A/mbar

-

-

-

200

200

100

最大作動圧力F

1X10-4 mbar

最大作動圧力M mbar

-

-

-

1X10-5

1X10-5

1X10-5

近接質量数への影響

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

動作温度F

150 °C

ベーキング温度F

200 °C / 300 °C

ジョイントフランジ

DN 40 CF-F

じゅうりょう

2.4 kg

2.4 kg

2.4 kg

3.8 kg

3.8 kg

3.8 kg

残留ガス分析質量分析計の応用四重極質量分析計QMGは漏れ検出、残留ガス分析及び総合定量分析に非常に適している
1.冶金2.真空炉3.加速器4.スパッタプロセス分析5.半導体生産6.ガラスコーティング7.研究開発8.真空プロセス

上海伯東残留ガス分析質量分析計顧客事例1:分子ビームエピタクシーMBEガス分析
Pfeiffer 质谱应用
上海伯東残留ガス分析質量分析計顧客事例2:XPSシステムの分析室残留ガスに対して定性と半定量分析を行う
上海伯东德国 Pfeiffer
上海伯東残留ガス分析質量分析計顧客事例3:真空ろう付け過程で発生したガス成分と含有量の分析
普发质谱应用

1.コンパクト設計
PrismaPlusTM新型定量定性ガス分析と漏れ検出の質量分析計である。この四極質量分析計は豊富な応用経験を蓄積し、高感度、高安定性とインテリジェント化操作の完璧な結合はPrismaPlus TM四極質量分析計の新しい利点である。お客様は、堅牢でコンパクトな設計とシンプルなシステム統合を実感し、メリットを得られます。
2.応用範囲が広い
質量数の範囲、検出器、イオン源とメソ面の中間などを選択することができることによって、この四極質量分析計は多くの分野、例えば:工業と分析分野、研究開発、漏れ検出、半導体生産及びめっき技術などに応用することができる。PrismaPlusTM四重極質量分析計は品質保証、残留ガス分析から総合的な定量分析までの応用分野の最適な方案である。
3.検出速度が速く、感度が高い
PrismaPlusTM四重極質量分析計は、3つの異なる質量数範囲(1〜100、1〜200、1〜300 amu)内で、検出限界まで1*10−14 mbarの場合に正確な検出結果を与えることができる。真空システムでは、有効なファラ、第和電子増倍検出器を配合し、低レベルの汚染でも迅速に識別することができる。選択可能な分圧を表示する以外に、直接圧力ゲージを追加すると、PrismaPlusTM四重極質量分析計は正確な全圧モニタとして使用することができます。
4.インテリジェントなソフトウェア
Quaderaソフトウェアは操作が簡単なだけでなく、すべてのテスト資料やパラメータレコードをキャプチャして観察するための読みやすいプラットフォームを提供しています。乙太網、デジタル式、クラス比式の入出力など、選択可能な複数のメソメソメソを組み合わせて、さまざまなシステムに簡単に統合することができます。マウスを軽くすると、プリセットの機能を起動することができます。

PrismaPlusTM よんきょく質量分析計寸法と部品:


Pfeifferガス質量分析計:上海伯東真空製品事業部はドイツのPfeiffer指定販売修理センターで、当社は国内で最初にPfeiffer製品を代理した会社で、100%原装輸入し、Pfeiffer全シリーズの真空製品のアフターサービスを提供しています。