PP 3006冷凍伝送製造システム

PP3006適用SEM、FIB/SEM及び真空プラットフォームの冷凍伝送システム

PP3006 CoolLokシステムSEM，FIB / SEMまたは他の真空システムは、高速輸送および低温サンプル観察機能を提供する。その応用には、電子ビームに敏感なサンプル、プラスチック、ポリマー、低K誘電体と軟硬混合物などは熱保護を提供する。このシステムは、不活性ガス保護下でのグローブボックスからの周囲温度サンプルのサンプル輸送にも使用することができる。

機器の特徴：

•迅速なサンプル交換

•温度は-190℃、安定度が優れている±0.5℃

•分体式冷却システムで、液体窒素を満タンにすると一日中運転できる

•独立した2つのガスがそれぞれコールドテーブルとコールドトラップを冷却する

•真空及び不活性ガス保護下のサンプル輸送

•オプションの高速サンプル予冷装置

QuickLok真空引き、真空引き、試料輸送を制御するために埋め込まれたロードチャンバを含み、このチャンバは適切な真空チャンバポートに取り付けられている。このシステムには、カスタマイズされた真空チャンバインタフェースフランジ、コネクタ、および真空引きアセンブリに接続されたアダプタも含まれています（下を参照）“しんくうぬき”）。インターフェース部には、電子ミラーのコールドテーブル及びコールドトラップを流れる過冷却窒素ガス管路が設けられている。

CoolLok標準的なサンプル冷却方式は、輸送後のサンプルと電子ミラー冷却テーブルとの接触によって実現されるため、冷凍速度は相対的に遅い。これは硬く、水を含まない試料に適していますが、液体に基づく材料には、急速な予冷が必要であり、真空を介してコールドテーブルに輸送することで、氷晶成長による試料の破壊を減らすことができます。このようなアプリケーションには、24425液体窒素スラッジ予冷ワークステーションオプション。

サンプルを適切なサンプルホルダー（サンプルシャトル）に積載し、輸送装置をエアロックに取り付ける。非真空空間が予め設定された真空値まで真空引きされた後、ドアバルブが開き、サンプルが電子ミラーサンプルテーブルに転送される。他の真空システムまたはグローブボックスからのサンプル転送については、使用可能な適切なインタフェースフランジ資料を請求してください。液体窒素スラッジ予冷ワークステーションを選択した場合、真空下でのサンプル輸送はこのワークステーションを通じて得ることができる。

頻繁にサンプルを変更しないアプリケーションには、使用を推奨するだけPP3005。室温サンプルをSEM, FIB/SEMまたは他の適切な真空システムのサンプルについては、「:PP3004QuickLokを選択して設定できます。(特に生命科学)冷間クラックとスパッタリングめっき膜は不可欠なプロセスステップであり、先進的な購入が必要であるPP3010 –完全な低温走査電子顕微鏡製造システム。