高温四プローブ抵抗率試験システムの詳細

ネゴシエーション可能更新05/26

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高温四プローブ抵抗率試験システムの詳細

製品詳細

機能概要：overview

1.四プローブ二重電気結合測定方法試験方法：角抵抗と抵抗率システムと高温箱の結合

2.高温四プローブ試験プローブ治具の配置

3.PCソフトウェアによるデータの処理及び測定制御

4.レンジテスト範囲

高温四プローブ抵抗率試験システムの詳細

応用説明：

半導体材料の電気伝導率は温度変化の測定要求に対して、測定制御ソフトウェアはリアルタイムに温度と抵抗、抵抗率、電気伝導率データの変化曲線図譜、及び過程データ値の報告表分析を描画した。

適用業界：Applicable

industry:

企業、大学、科学研究部門は導電性セラミックス、シリコン、ゲルマニウム単結晶（棒材、ウエハ）の抵抗率、シリコンエピタキシャル層、拡散層とイオン注入層のブロック抵抗の測定、および導電性ガラス（ITO）とその他の導電性薄膜などの新材料のブロック抵抗、抵抗率と導電性データの測定に使用する.

電気二重測定四プローブ計は直線四プローブを用いた二重位置測定である。設計は単結晶シリコンの物理試験方法に適合する

標準および米国A.S.T.M標準を参照してください。

モデルとパラメータModelsand technical parameters：

規格型番

Models

FT-351A

FT-351B

FT-351C

1.ブロック抵抗範囲sheet

resistance

10-5～2×105Ω/□

10-6～2×105Ω/□

10-4～1×107Ω/□

2.抵抗率範囲resistivity

range

10-6～2×106Ω-cm

10-7～2×106Ω-cm

10-5～2×108Ω-cm

3.テスト電流範囲test current

range

0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

10mA ---200pA

4.電流精度current accuracy

±0.1%示度

±0.1示度

±2%

5.抵抗精度resistance accuracy

≤0.3%

≤0.3%

≤10%

PCソフトウェアインタフェース

PC software interface

表示：抵抗、抵抗率、角抵抗、温度、単位換算、温度係数、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ

、電気伝導率

LCD: resistance.resistivity.

sheet resistance. temperature.unit

conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe

spacing. thickness

7.試験方式test mode

デュアル電気測定Double electrical

measurement

8.四プローブ作動電源workingpower

AC 220V±10%.50Hz <30W

9.誤差errors

≦3%（標準サンプル結果standard

samples）

≤15%

温度（オプション）Highest temperature

(choose and buy)

常温ノーマン

temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃

雰囲気保護（ガス顧客の自己準備）

Atmosphere protection(Gas

was provided by customers themselves)

常用ガスは以下の通りである：ヘリウム（He）、ネオン（Ne）、アルゴン（Ar）、クリプトン（Kr）、キセノン（Xe）、アルゴン（Rn）、いずれも無色、無臭、気体状態の

モノ原子分子

The usual gases are:

helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn).

all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules.

おんどせいど

Temperature precision

沖温値Blunt

temperature values：≤1-3℃；温度制御精度control precision：±1°C

昇温速度：

rate of temperature

increase

常温から400℃〜800℃で15分、800℃〜1200℃で30分、1400℃-1600℃で250分～300分

About 15 minutes at room

temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to

1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes

こうおんざいりょう

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モデルとパラメータModelsand technical parameters：	規格型番	Models	FT-351A
FT-351B	FT-351C	1.ブロック抵抗範囲sheet	resistance
10-5～2×105Ω/□	10-6～2×105Ω/□	10-4～1×107Ω/□	2.抵抗率範囲resistivity
range	10-6～2×106Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm	10-5～2×108Ω-cm
3.テスト電流範囲test current	range	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
10mA ---200pA	4.電流精度current accuracy	±0.1%示度	±0.1示度
±2% 5.抵抗精度resistance accuracy	≤0.3% ≤0.3%
≤10%	PCソフトウェアインタフェース
PC software interface	表示：抵抗、抵抗率、角抵抗、温度、単位換算、温度係数、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ
、電気伝導率	LCD: resistance.resistivity.		sheet resistance. temperature.unit
conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness	7.試験方式test mode
デュアル電気測定Double electrical measurement	8.四プローブ作動電源workingpower AC 220V±10%.50Hz <30W
9.誤差errors ≦3%（標準サンプル結果standard	samples）
≤15% 温度（オプション）Highest temperature	(choose and buy) 常温ノーマン
temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ 雰囲気保護（ガス顧客の自己準備）	Atmosphere protection(Gas
was provided by customers themselves) 常用ガスは以下の通りである：ヘリウム（He）、ネオン（Ne）、アルゴン（Ar）、クリプトン（Kr）、キセノン（Xe）、アルゴン（Rn）、いずれも無色、無臭、気体状態の	モノ原子分子
The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn).	all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. おんどせいど
Temperature precision 沖温値Blunt	temperature values：≤1-3℃；温度制御精度control precision：±1°C
昇温速度： rate of temperature	increase 常温から400℃〜800℃で15分、800℃〜1200℃で30分、1400℃-1600℃で250分～300分
About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to	1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes こうおんざいりょう