電気二重結合四プローブテスタ

電気二重結合四プローブテスタ

一.電気二重結合四プローブ法の原理：

1.4プローブ二重結合測定技術を用いて、ヴァンデブルク測定方法を直線4プローブに応用する。電流プローブと電圧プローブの組み合わせ変換を用いて、2回の電気測定を行い、その最後の計算結果はサンプルの幾何学的寸法、境界効果及びプローブの不等距離と機械的遊動などの要素による、測定結果に対する不利な影響を自動的に除去することができる。

2.試験過程において、基本条件を満たす下でプローブ間隔、サンプルサイズ及びプローブのサンプル表面上の位置などの要素を考慮しなくてもよい。

3.自動的に修正し、テスト結果への影響を低減し、測定結果の精度を向上させる。

二.電気二重結合四プローブ法の利点：

1.従来の4プローブ測定方法では解決できず、幾何境界条件とプローブピッチの自動修正。

2.各種形状のブックフィルム及びシート状半導体材料に適用する。