導電性膜二重電気測定用四プローブテスタ

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概要

導電性膜二重電気測定用四プローブテスタ

製品詳細

適用範囲Widely used：

シリコンウェハブロック、ウェハ抵抗率及び拡散層、エピタキシャル層、ITO導電箔膜、導電性ゴムなどの材料ブロック抵抗半導体材料/ウェハ、太陽電池、電子部品、導電性薄膜（ITO導電膜ガラスなど）、金属膜、導電性エナメル膜、蒸発アルミニウム膜、PCB銅箔膜、

EMIコーティングなどの物質のシート抵抗と抵抗率導電性塗料、導電性ペースト、導電性プラスチック、導電性ゴム、導電性フィルム、金属フィルム、

帯電防止材料、EMI保護材料、導電性繊維、導電性セラミックスなど

導電性膜二重電気測定用四プローブテスタ

機能記述Description：

1.四プローブ複合電気二重測定方法

2.液晶表示、自動測定、自動レンジ、自動係数補償。

3.集積回路システム、定電流出力.

4.オプション：PCソフトウェアはデータ管理と処理を行う。

5.中国語または英語の2つの言語操作インタフェースの選択を提供する

導電性膜二重電気測定用四プローブテスタ

参照基準：

1.シリコンウェハ抵抗率測定の基準（ASTM F 84）。

2.GB/T 1551-2009「シリコン単結晶抵抗率測定方法」。

3.GB/T 1551-1995「シリコン、ゲルマニウム単結晶抵抗率測定直流両プローブ法」。

4.GB/T 1552-1995「シリコン、ゲルマニウム単結晶抵抗率測定直流四プローブ法」。

導電性膜二重電気測定用四プローブテスタ

電気二重結合試験方法：

電流プローブ、電圧プローブの変換を利用して、2回の電気測定を行い、データに対して2重電気測定分析を行い、サンプルの幾何寸法、境界効果及びプローブの不等距離と機械的遊動などの要素が測定結果に与える影響を解決し、斜置式4プローブのマイクロ領域に対する試験に適用する。

仕様型式/モデル	FT-341	FT-342	FT-343	FT-345	FT-346	FT-347
1.ブロック抵抗sheet resistance	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω /□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
2.抵抗率Resistivity	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm
3.テスト電流Test current	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.電流精度Current	±0.1% accuracy	±0.2% accuracy	±0.2% accuracy	±0.3% accuracy	±0.3% accuracy	±0.3% accuracy
5.抵抗精度Resistance	≤0.3% accuracy	≤0.3% accuracy	≤0.3% accuracy	≤0.5% accuracy	≤0.5% accuracy	≤0.5% accuracy
6.示度displayを表示する	パネル液晶表示：抵抗、抵抗率、角抵抗、温度、単位換算、温度係数、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ、導電性Large screen LCD：Resistance.resistivity.sheet resistance.
temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe	shape. probe spacing. thickness. conductivity
7.試験方式	test mode電気二重測定Double electrical measurement
8.電源パワー	入力：AC 220 V±10%.50 Hz消費電力：<30 W
9.誤差errors	≦3%（標準サンプル結果）
10.オプション機能choose to buy	1.pcソフトウェアを選択購入する、2.方形プローブを選択購入する、選択購入3.直線形プローブ、選択購入4.テストプラットフォーム、5.標準抵抗.1.pc software、 2. square probe;

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